?驅動機構為壓電陶瓷，位置反饋采用數字位移傳感器，具有50×50mm開口部的超高精密定位的中空型XY平臺，適用于在顯微鏡下微動。?推薦使用控制器FINE-503驅動。此控制器具有RS232C，GP-IB，USB接口。選購測量·控制軟件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX等，可方便地構建位置控制系統。?是各種顯微鏡，精密測量裝置，半導體檢測裝置，高精度曝光，掃描型干涉儀，圖像處理裝置，或相關生物用裝置的最佳選擇。
?在閉環控制時，平臺的行程與開環控制時相比會減少20%左右。
壓電陶瓷平臺
